| 摘要 |
본 발명의 박막의 제조방법은 하기 일반식(I)로 표시되는 몰리브덴이미드 화합물을 함유해서 이루어지는 박막 형성용 원료를 기화시켜서 얻은 몰리브덴이미드 화합물을 함유하는 증기를 기체 상에 도입하고, 이것을 분해 및/또는 화학반응시켜서, 기체 상에 몰리브덴을 함유하는 박막을 형성한다. 본 발명의 박막 형성용 원료는 하기 일반식(I)로 표시되는 몰리브덴이미드 화합물을 함유해서 이루어진다.(식 중, R∼R은 수소원자 또는 탄소수 1∼5의 직쇄 혹은 분기상 알킬기를 나타내고, R은 탄소수 1∼8의 직쇄 혹은 분기상 알킬기를 나타낸다.) |
