发明名称 電子検出システム及び方法
摘要 <p>Systems and methods to detect electrons from one or more samples are disclosed. In some embodiments, the systems and methods involve one or more magnetic field sources, for deflecting secondary electrons emitted from the surface of the samples.</p>
申请公布号 JP5753080(B2) 申请公布日期 2015.07.22
申请号 JP20110512528 申请日期 2009.05.26
申请人 发明人
分类号 G01N23/225;G01T1/28;H01J37/05;H01J37/08;H01J37/244;H01J37/28;H01J37/317;H01J49/20 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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