| 发明名称 | 测量单元 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种测量单元，包括：基体(3)；测量膜片(5)；所述测量膜片设置在基体(3)上；测量装置，其具有第一测量元件(10)和第二测量元件(11)，其中第一测量元件(10)设置在测量膜片(5)上；其中设有中间膜片(7)，所述中间膜片设置在测量膜片(5)与基体(3)之间，并且在所述中间膜片上设置第二测量元件(11)。 | ||
| 申请公布号 | CN102052988B | 申请公布日期 | 2015.07.22 |
| 申请号 | CN201010281093.1 | 申请日期 | 2010.09.09 |
| 申请人 | VEGA格里沙贝两合公司 | 发明人 | H·格吕勒 |
| 分类号 | G01L9/12(2006.01)I | 主分类号 | G01L9/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 沈英莹 |
| 主权项 | 测量单元，包括：基体(3)，测量膜片(5)，所述测量膜片设置在基体(3)上，测量装置，所述测量装置具有第一测量元件(10)和第二测量元件(11)，其中第一测量元件(10)设置在测量膜片(5)上；其特征在于，设有中间膜片(7)，所述中间膜片设置在测量膜片(5)与基体(3)之间，并且在所述中间膜片上设置第二测量元件(11)，在测量膜片(5)与基体(3)之间的间隙用热导率比空气高的流体填充，所述流体是不可压缩的液体，中间膜片(7)具有多个空隙，各测量元件(10、11)是测量电极。 | ||
| 地址 | 德国沃尔法赫 | ||