基于虫胶封装/调控的场效应管气体传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于虫胶封装/调控的场效应管气体传感器及其制备方法，从下到上依次为可降解衬底、栅电极、绝缘层、半导体层、源电极和漏电极，所述绝缘层和半导体层之间设置有虫胶层。本发明通过将虫胶涂覆在绝缘层之上，利用其良好的粘着性、致密性和高介电强度，阻隔水氧对可降解衬底与绝缘层的侵蚀，提高可降解衬底与绝缘层的稳定性；同时，基于虫胶独特的热塑性与聚合特性，直接对虫胶层进行处理使得制备与虫胶之上的半导体层获得多种形貌，从而提高与目标气体的反应面积，进而提高气体响应特性；虫胶属于天然材料，来源广泛成本更加低廉；该场效应晶体管气体传感器采用一种材料实现封装与图案化，更加容易制备，成本更低，将可降解衬底推向实用化，对环境更加友好；适宜大规模量产。

主权项

基于虫胶封装/调控的场效应管气体传感器，从下到上依次为可降解衬底、栅电极、绝缘层、半导体层、源电极和漏电极，其特征在于，所述绝缘层和半导体层之间设置有虫胶层。