| 发明名称 | 一种新型石英舟架 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种新型石英舟架，包括横杆、侧板、挡板，横杆两端固定侧板，所述的挡板与侧板固定连接，可以通过焊接或者通过卡扣方式进行固定。既能平衡扩散气体，又能防止挡板移位而碰到扩散炉而发生挡板滑落，可以保证扩散工艺安全持续地进行，提高了产量、节约了生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN204497206U | 申请公布日期 | 2015.07.22 |
| 申请号 | CN201520261886.5 | 申请日期 | 2015.04.27 |
| 申请人 | 中建材浚鑫科技股份有限公司 | 发明人 | 钱小芳;杨征;杨冬生 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人 | 李中华 |
| 主权项 | 一种新型石英舟架，包括横杆、侧板、挡板，横杆两端固定侧板，其特征在于：所述的挡板与侧板固定连接。 | ||
| 地址 | 214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号 | ||