发明名称 | 具有工程衬底的III族氮化物晶体管 | ||
摘要 | 一种晶体管包括多个外延层、电连接至外延层中沟道层的漏极电极、电连接至所述沟道层的源极电极、背面金属层、在外延层的第一部分和背面金属层之间的衬底、以及在外延层第二部分和背面金属层之间的介质层。 | ||
申请公布号 | CN104798206A | 申请公布日期 | 2015.07.22 |
申请号 | CN201480001977.3 | 申请日期 | 2014.03.13 |
申请人 | HRL实验室有限责任公司 | 发明人 | 储荣明;李紫剑;卡里姆·保特罗斯 |
分类号 | H01L29/786(2006.01)I;H01L21/335(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 顾丽波;井杰 |
主权项 | 一种晶体管,包括:多个外延层;电连接至所述外延层中沟道层的漏极电极;电连接至所述沟道层的源极电极;背面金属层;在所述外延层的第一部分和所述背面金属层之间的衬底;以及在所述外延层的第二部分和所述背面金属层之间的介质层。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |