氟化镁单晶镀膜材料的制备装置及制备工艺

摘要

本发明提供一种氟化镁单晶镀膜材料的制备装置及制备工艺，一方面将石墨加热体设计为梯形圆筒（下底角为86º±0.5），形成上端高、下端低的温场梯度分布（0-135℃/m），另一方面将钟罩内壁保温套设计为上端厚、下端薄，使得保温套同样形成（0-135℃/m）的温场梯度分布，该结构结合创新研发出的制备工艺，使得产品单晶率高达65%左右，产出的氟化镁单晶镀膜材料可避免氧化镁生成，达到无崩点技术要求，且本发明产出单晶氟化镁是下拉法单炉产量6-7倍，时间减少70%。

主权项

氟化镁单晶镀膜材料的制备装置，其特征在于：包括坩埚（10）、石墨加热体（9）和冷却系统，其中坩埚（10）的上方罩有顶盖（11），坩埚（10）的底部中心处向上内陷，内陷处形成梯形圆筒状，在坩埚（10）的外侧罩有钟罩（1）；所述石墨加热体（9）通过铜电极（8）与外部电源连接，且石墨加热体（9）的外形与梯形圆筒状一致；所述冷却系统包括进水口（6）和出水口（5）以及循环水路，所述循环水路位于钟罩（1）内部。