一种具有电极组的环形激光器及其电极组的制作方法

摘要

本发明涉及一种具有电极组的环形激光器及其电极组的制作方法，环形激光器包括一个谐振腔体，该谐振腔体上包括有电极组，光学镜和若干条通光孔道；谐振腔体内部充填有氦氖混合气体；所述电极组是由电极导体与玻璃环片通过连接层热压连接而成。电极组的制作步骤包括：沉积种子层和过渡层，制作活性反应层，激发活性反应层，热压焊接电极导体和玻璃环片。本发明的主要优点是：1、电极组通过其玻璃环片与谐振腔体封接，实现了局部加热瞬间气密封接，有效消除整体加热封接时产生的热残余应力影响；2、玻璃环片与谐振腔通过光胶贴装，方便电极组的拆卸和更换；3、玻璃环片与谐振腔体是相同材料，避免了电极组与谐振腔体直接封接时产生的封接应力。

主权项

一种具有电极组的环形激光器，其特征在于，包括一个谐振腔体（1），该谐振腔体（1）上包括有电极组（2），光学镜（3）和若干条通光孔道；谐振腔体（1）内部充填有氦氖混合气体；所述电极组（2）是由电极导体（2.1）与玻璃环片（2.2）通过连接层（2.3）热压连接而成；所述连接层（2.3）是：电极导体（2.1）与玻璃环片（2.2）相对的封接位置上分别沉积的种子层（2.33），该种子层（2.33）上沉积的过渡层（2.32），该过渡层（2.32）上制作的活性反应层（2.31），以及夹在电极导体（2.1）的活性反应层（2.31）与玻璃环片（2.2）的活性反应层（2.31）之间的焊料层环片（2.34）；所述的电极组（2）有阴极电极组（2.01）和阳极电极组（2.02）；电极组（2）是通过其玻璃环片（2.2）与谐振腔体（1）用光胶（4）密封贴接；玻璃环片（2.2）的材料与谐振腔体（1）的材料相同，主要选自微晶玻璃，或二氧化硅；所述电极导体（2.1）材料为金属材料；种子层（2.33）和过渡层（2.32）的材料均为金属；活性反应层（2.31）由两种或两种以上具有混合负热值的材料经纳米薄膜交替蒸镀，或由纳米颗粒丝网印刷而成的层状结构；焊料层环片（2.34）的材料是高熔点焊料，选自金锡合金焊料，或锡银铜合金焊料。