| 发明名称 | 传感装置 | ||
| 摘要 | 公开了一种传感装置。该传感装置可以包括：由电介质层隔开的第一电极层和第二电极层；以及贯穿第一电极层、第二电极层和电介质层的通孔。 | ||
| 申请公布号 | CN104792845A | 申请公布日期 | 2015.07.22 |
| 申请号 | CN201410385603.8 | 申请日期 | 2014.08.07 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 黄成军;罗军;赵超 |
| 分类号 | G01N27/403(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/403(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 倪斌 |
| 主权项 | 一种传感装置，包括：由电介质层隔开的第一电极层和第二电极层；以及贯穿第一电极层、第二电极层和电介质层的通孔。 | ||
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||