发明名称 控温型双气体通道均匀喷气喷淋板
摘要 控温型双气体通道均匀喷气喷淋板,主要解决现有技术结构不够合理而导致传热效率低,喷淋部件体积大等问题。其结构是:喷淋板内部设有相互隔离的两个气体通道、一个传热效率高的蛇形液态传热介质通道。所述的相互隔离的两个气体通道及一个蛇形液态传热介质通道由该部件所包括的喷淋上板、扩散挡板、进气环、封闭环及喷淋孔板五个部分组合而成。本发明利用两个零件焊接形成液态传热介质通道的形式将对流传热的位置设置在喷淋小孔一侧,将传热效率最大化,实现了在可控的温度条件下两种气体同时通入腔体或切换通入腔体进行反应的工艺要求,减小了喷淋部件的体积,提高了传热效率,使喷淋部件的可靠性得以保证。
申请公布号 CN104789943A 申请公布日期 2015.07.22
申请号 CN201510152046.X 申请日期 2015.04.01
申请人 沈阳拓荆科技有限公司 发明人 吕光泉;吴凤丽;苏欣
分类号 C23C16/455(2006.01)I 主分类号 C23C16/455(2006.01)I
代理机构 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 代理人 甄玉荃;霍光旭
主权项 一种控温型双气体通道均匀喷气喷淋板,其特征在于:所述喷淋板内部设有相互隔离的两个气体通道、一个传热效率高的蛇形液态传热介质通道,上述的相互隔离的两个气体通道及一个蛇形液态传热介质通道由该部件所包括的喷淋上板、扩散挡板、进气环、封闭环及喷淋孔板五个部分组合而成,将扩散挡板同心地焊接在喷淋上板的中心处,上述扩散挡板与喷淋上板构成第一个部分,将进气环与喷淋孔板焊接,使进气环开有的短槽与喷淋孔板所钻有的一列长通孔结合成为封闭的蛇形管路,焊接封闭环将喷淋孔板与进气环形成的结构转化成双通道气路,上述喷淋孔板、进气环、封闭环构成第二个部分,将焊接后的两个部分钎焊在一起,形成空腔,喷淋上板上设置进气口A、进气口B、液路入口C,液路出口D,进气口A与焊接后的两个部分钎焊在一起后形成的空腔相通,进气口B与喷淋孔板的夹层相通。
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