| 发明名称 | 制备合成石英玻璃基材的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种制备合成石英玻璃基材的方法。具体地，通过将起始基材浸渍在非离子型表面活性剂的水溶液中并且采用胶体二氧化硅水分散体精密抛光该基材制备了合成石英玻璃基材。获得了具有极少缺陷和低表面粗糙度的合成石英玻璃基材，同时改进了抛光速率和减少了抛光时间。 | ||
| 申请公布号 | CN104786135A | 申请公布日期 | 2015.07.22 |
| 申请号 | CN201510026173.5 | 申请日期 | 2015.01.20 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 松井晴信;原田大实;竹内正树 |
| 分类号 | B24B37/10(2012.01)I;B24B37/24(2012.01)I;C09K3/14(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/10(2012.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 李英 |
| 主权项 | 一种制备合成石英玻璃基材的方法，其包括步骤：将合成石英玻璃基材浸渍在含有表面活性剂的水溶液中，并且随后采用胶体二氧化硅水分散体精密抛光该基材。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||