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<p>실시 예들은 대형 기판상에 원자층 증착(ALD)를 수행하기 위한 중착 장치 내의 길쭉한 반응기 조립체와 관련된다. 길쭉한 반응기 조립체는 하나 이상의 주입기들 또는 라디칼 반응기들을 포함한다. ALD 공정의 일부로서 기판이 주입기 또는 라디칼 반응기를 통과할 때, 각각의 주입기 또는 라디칼 반응기는 기판상에 기체 또는 라디칼들을 주입한다. 각각의 주입기 또는 라디칼 반응기는 적어도 두 개의 섹션들이 상이한 단면 구성을 갖는 복수의 섹션들을 포함한다. 주입기 또는 라디칼 반응기 내에 상이한 섹션들을 제공함으로써, 주입기 또는 라디칼 반응기는 기판 전체에 걸쳐 더욱 균일하게 기체 및 라디칼들을 주입할 수 있다. 각각의 주입기 또는 라디칼 반응기들은 증착 장치 외부로 과잉 기체 또는 라디칼들을 방출하기 위한 하나 이상의 배출구를 포함할 수 있다.</p> |
