发明名称 一种悬空石墨烯的制备方法
摘要 本发明提供一种悬空石墨烯的制备方法,包括以下步骤:步骤A:采用半导体工艺在碳化硅衬底上制备预期结构;步骤B:在富碳环境下,采用高温热分解法制备悬空石墨烯。该方法制备过程简单、没有化学污染,适合机械化和自动化制造,所得到的悬空石墨烯更易于使用。
申请公布号 CN104787754A 申请公布日期 2015.07.22
申请号 CN201510122914.X 申请日期 2015.03.19
申请人 中国科学院物理研究所 发明人 周智;胡颖;单欣岩;陆兴华
分类号 C01B31/04(2006.01)I 主分类号 C01B31/04(2006.01)I
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人 王勇;王博
主权项 一种悬空石墨烯的制备方法,包括以下步骤:步骤A:采用半导体工艺在碳化硅衬底上制备预期结构;步骤B:在富碳环境下,采用高温热分解法制备悬空石墨烯。
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