制造二维高分子光学波导的方法

摘要

本发明揭示一种制造二维高分子光学波导的方法，其能使用单一压印模具（original master），以简化的工程，制造出二维光学波导。本发明的方法包含下列步骤：使用一第一热压印工程，以单一母模，将一图案复制到一热塑性高分子板；在该复制图案的表面，形成一缓冲层；使用一第二热压印工程，以该母模，将该热塑性高分子板制作成一高分子模具，而该高分子模具在无该缓冲层的另一面具有一包覆图案；以一弹性材料复制该高分子模具的图案，并垂直分离该弹性材料，以形成一上弹性模具及一下弹性模具；及使用该上弹性模具及该下弹性模具，制作一中间包层，将一核心树脂填入中间包层的上下图案，用一上包层及一下包层分别盖住该中间包层的上下表面，然后进行一硬化工程，以形成一二维光学波导。

主权项

一种制造二维高分子光学波导的方法，其特征在于，包含下列步骤：使用一第一热压印工程，以单一母模，将一图案复制到一热塑性高分子板；在该复制图案的表面，形成一缓冲层；使用一第二热压印工程，以该母模，将该热塑性高分子板制作成一高分子模具，而该高分子模具在无该缓冲层的另一面具有一包覆图案；以一弹性材料，自该高分子模具，模制出一上弹性模具及一下弹性模具，以复制该高分子模具的图案，并垂直分离该弹性材料；及使用该上弹性模具及该下弹性模具，制作一中间包层，将一核心树脂填入中间包层的上下图案，用一上包层及一下包层分别盖住该中间包层的上下表面，然后进行一硬化工程，以形成一二维光学波导；其中，该模制出一上弹性模具及一下弹性模具的步骤包括：以聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)模制该高分子模具，以制作一弹性模具；该高分子模具存在于该弹性模具的区域的上部，自该弹性模具被分割出来，被分割出来的部分再被贴上一聚二甲基硅氧烷(PDMS)板或一玻璃板(glass plate)，以形成该上弹性模具；及将该高分子模具自剩余该弹性模具分离，以形成该下弹性模具。