发明名称 | 垫片结构及使用该垫片结构的裂片装置 | ||
摘要 | 本发明公开了一种垫片结构,其设置在夹持装置与被夹物体相接触的位置。所述垫片结构包括至少两层相互连接的缓冲层,所述缓冲层由弹性材料制成。至少一缓冲层内开设有镂空单元。另,本发明还提供一种使用该垫片结构的裂片装置。 | ||
申请公布号 | CN103382082B | 申请公布日期 | 2015.07.22 |
申请号 | CN201310291380.4 | 申请日期 | 2013.07.11 |
申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 谢克成 |
分类号 | C03B33/02(2006.01)I | 主分类号 | C03B33/02(2006.01)I |
代理机构 | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人 | 刘敏 |
主权项 | 一种垫片结构(104),其设置在夹持装置与被夹物体相接触的位置,所述垫片结构(104)包括至少两层相互连接的缓冲层(105),所述缓冲层(105)由弹性材料制成,所述至少一缓冲层(105)内开设有镂空单元(106)。 | ||
地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 |