| 摘要 |
<p>검출 알고리즘의 파라미터(들)에 대한 값들을 선택하기 위하여 사용될 정보를 생성하기 위한 방법 및 시스템들이 제공된다. 하나의 방법은 사용자 개입없이 웨이퍼 상 결함들을 검출하기 위한 검출 알고리즘의 파라미터(들)에 대한 디폴트 값들 및 검사 시스템을 사용하여 웨이퍼 영역의 스캔을 수행하는 단계를 포함한다. 상기 방법은 또한 검출 알고리즘의 파라미터(들)에 대한 값들을 선택하기 위해 총 결함들의 미리 결정된 최대 수를 기초로 스캔의 결과들로부터 결함들의 일부를 선택하는 단계를 포함한다. 상기 방법은 스캔에 후속하는 웨이퍼의 부가적인 스캔을 수행하지 않고 검사 레시피에 사용될 검출 알고리즘의 파라미터(들)에 대한 값들을 선택하기 위해 사용될 수 있는 정보를 저장하는 단계를 더 포함한다.</p> |
