用于印刷多层图案的多重控制方法及相关设备

摘要

在支撑件上多层印刷的方法包括：多个印刷步骤，其包括在相应印刷台中进行的第一印刷步骤和进一步后续印刷步骤；以及多个排列步骤，每个排列步骤设置在第一印刷步骤之后、且相应的进一步后续印刷步骤的上游，其中排列装置实现支撑件的准确配置和/或印刷台的调整以执行后续印刷步骤。方法在每个印刷步骤下游和每个排列步骤上游包括控制步骤，在控制步骤中，检测装置检测印刷在支撑件上的层的位置和/或支撑件在工作面上的位置，并且其中，至少命令与控制单元将检测的位置中的至少一者与预定位置和/或与先前控制步骤中检测的位置相比较，并且其中，比较的结果用于排列步骤。

主权项

一种在支撑件的表面上多层印刷的方法，所述支撑件是晶片、衬底或硅制薄片，所述方法包括如下步骤：多个印刷步骤，包括在许多印刷台中顺序地执行的第一印刷步骤和进一步后续印刷步骤；以及多个排列步骤，所述多个排列步骤中每一者设置在所述第一(11)印刷步骤之后、且所述进一步后续印刷步骤中相应一者的上游，在所述多个排列步骤中，排列装置执行所述支撑件的定位和/或印刷台的调整以在所述支撑件上印刷后续层。