一种偏振转换装置

摘要

本发明公开了一种偏振转换装置，解决了高NA光刻技术中光束由X偏振光或Y偏振光转换为XY偏振光和YX偏振光问题，所述偏振转换装置由两块二分之一波片、两片熔石英基片拼接并深度光胶在熔石英基底上构成。每块二分之一波片和熔石英基片中心角为90度，且每块二分之一波片和熔石英基片的厚度相同。二分之一波片和熔石英基片交替排列，且二分之一波片和熔石英基片拼接成正方向，二分之一波片快轴方向与X轴呈45度或135度。该偏振转换具有机械稳定性好、加工难度小、转换精度高、成本低等优点。

主权项

一种偏振转换装置，其特征在于：所述的偏振转换装置由两块二分之一波片、两块熔石英基片和熔石英基底构成，每块二分之一波片和熔石英基片中心角为90度，二分之一波片快轴方向与X轴呈45度或135度，二分之一波片与熔石英基片交替排列并深度光胶在熔石英基底上构成整个偏振转换装置，每块二分之一波片和熔石英基片的面积占熔石英基底的四分之一，且二分之一波片和熔石英基片厚度相等，利用偏振光经过二分之一波片时，振动方向向快轴方向转动一定角度，而熔石英基片不改变输入偏振光束的偏振特性，同时适当旋转该偏振转换装置，可以实现不同的偏振模式输出。