プラズマ処理方法,申请号JP20130255576-传众专利搜索

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发明名称	プラズマ処理方法
摘要
申请公布号	JP5750496(B2)	申请公布日期	2015.07.22
申请号	JP20130255576	申请日期	2013.12.11
申请人		发明人
分类号	H01L21/3065	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
主权项
地址

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