DETECTING FAILURE OF SCANNING MIRROR

摘要

모니터링 방법은 제1 부품(46)과 제2 부품(72) 및 제1 부품을 제2 부품에 연결하는 가동 조인트(70)를 포함하는 디바이스(64)를 제공하는 단계를 포함한다. 가동 조인트를 가로지르는 전도성 경로(80)의 전기적 특성이 측정되고, 전기적 특성의 변화를 검출하는 것에 응답하여 개선 조치가 개시된다.