用于光学地检验一物件的系统及方法

主权项

一种用于光学地检验一物件的系统，该系统包括：a.一远心照明系统，其具有一照明光学轴且包括一光源，该光源包括经组态以用一明场照明光来照明该物件之一明场照明光部份；及b.一远心光学成像系统，其包括一成像感测器且经组态以建立该物件之一明场影像，其中该远心光学成像系统进一步包括具有一第一光学轴之一第一成像模组及具有一第二光学轴之一第二成像模组，且其中该照明光学轴、该第一光学轴及该第二光学轴相对于彼此在一横向方向偏移，实质上垂直于该照明光学轴、该第一光学轴及该第二光学轴，且其中藉由该物件反射之光在入射至该成像感测器上之前穿过该第一成像模组及该第二成像模组两者。