| 主权项 |
一种用于图案化一膜层的方法，包括：于一元件层上形成一光阻层；图案化该光阻层，以形成一光阻模板遮罩，该光阻模板遮罩包括一系列的线，每一条线具有侧壁与末端；于该光阻模板遮罩上沉积一间隙壁形成材料层；蚀刻该间隙壁形成材料层，以形成一间隙壁遮罩并暴露该光阻模板遮罩，该间隙壁遮罩具有间隙壁线，该间隙壁线邻接该光阻模板遮罩之该系列的线之每一条线之侧壁，以及具有间隙壁末端，该间隙壁末端缠绕在该光阻模板遮罩之该系列的线之每一条线之末端；裁切该间隙壁遮罩以形成一经过裁切的间隙壁遮罩，该裁切系藉由移除该间隙壁末端，但不移除该间隙壁线而达成；以及，接着，移除该光阻模板遮罩；以及转移该经过裁切的间隙壁遮罩的图案至该元件层。
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