发明名称 矽晶铸锭之制造方法
摘要
申请公布号 TWI493082 申请公布日期 2015.07.21
申请号 TW101116591 申请日期 2012.05.10
申请人 中美矽晶制品股份有限公司 发明人 余文怀;杨承叡;杨瑜民;白凯元;蓝文杰;苏展禄;姜侑宗;许松林;徐文庆;蓝崇文
分类号 C30B17/00;C30B29/06 主分类号 C30B17/00
代理机构 代理人 洪荣宗 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种制造一多晶矽晶铸锭之方法,包含下列步骤:(a)安装一成核促进层至一模内之底部,该模本身定义一垂直方向;(b)安装一矽原料至该模内,且放置在该成核促进层上;(c)加热该模,直至该矽原料全部熔化成一矽熔汤;(d)冷却该矽熔汤,致使多个矽晶粒从该矽熔汤中在该成核促进层上成核且沿该垂直方向成长;以及(e)继续冷却该矽熔汤,让该多个矽晶粒继续沿该垂直方向成长,直到该矽熔汤全部凝固以获得该多晶矽晶铸锭;其中该成核促进层包含多个结晶颗粒,该多个结晶颗粒包含多晶矽,藉此该多个矽晶粒之晶向包含3种以上。
地址 新竹市科学工业园区工业东二路8号