发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI493679 申请公布日期 2015.07.21
申请号 TW101116308 申请日期 2012.05.08
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 林俊宏;陈玉芬;普翰屏;郭宏瑞
分类号 H01L25/04;H01L23/12 主分类号 H01L25/04
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项 一种半导体装置,包括:一第一基底,具有一第一侧及一第二侧;一第一晶片,装设于该第一基底的该第一侧上;一成形材料,形成于该第一基底的该第一侧的至少一部分上;一应力补偿层,形成于该第一基底的该第二侧上, 其中该应力补偿层的厚度为,其中 CTEMolding为该成形材料的热膨胀系数,EMolding为该成形材料的杨氏系数,THKMolding为该成形材料的厚度,CTECompensation为该应力补偿层的热膨胀系数,ECompensation为该应力补偿层的杨氏系数;以及一第二基底,电性耦接至该第一基底,且位于该第一侧上。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号