主权项 |
一种半导体装置,包括:一第一基底,具有一第一侧及一第二侧;一第一晶片,装设于该第一基底的该第一侧上;一成形材料,形成于该第一基底的该第一侧的至少一部分上;一应力补偿层,形成于该第一基底的该第二侧上,
其中该应力补偿层的厚度为,其中
CTEMolding为该成形材料的热膨胀系数,EMolding为该成形材料的杨氏系数,THKMolding为该成形材料的厚度,CTECompensation为该应力补偿层的热膨胀系数,ECompensation为该应力补偿层的杨氏系数;以及一第二基底,电性耦接至该第一基底,且位于该第一侧上。 |