发明名称 半导体元件
摘要
申请公布号 TWI493724 申请公布日期 2015.07.21
申请号 TW101106741 申请日期 2012.03.01
申请人 元太科技工业股份有限公司 发明人 蓝纬洲;辛哲宏;王裕霖;叶佳俊
分类号 H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 一种半导体元件,配置于一基板上,该半导体元件包括:一基材,具有一表面以及一位在该表面的第一凹槽;一金属层,配置于该基材上,且覆盖该表面及该第一凹槽的内壁,而定义出一对应该第一凹槽的第二凹槽;一绝缘层,配置于该金属层上,且覆盖该金属层与该第二凹槽的内壁,而定义出一对应该第二凹槽的第三凹槽;一半导体层,配置于该绝缘层上,且暴露出部分该绝缘层,该半导体层覆盖该第三凹槽的内壁,而定义出一对应该第三凹槽的第四凹槽;一汲极,配置于该半导体层上,且覆盖部分该半导体层与部分该绝缘层,其中该汲极暴露出该第四凹槽;以及一源极,配置于该半导体层上,且覆盖部分该半导体层与部分该绝缘层,其中该源极暴露出该第四凹槽。
地址 新竹市科学工业园区力行一路3号