发明名称 | 半导体元件 | ||
摘要 | |||
申请公布号 | TWI493724 | 申请公布日期 | 2015.07.21 |
申请号 | TW101106741 | 申请日期 | 2012.03.01 |
申请人 | 元太科技工业股份有限公司 | 发明人 | 蓝纬洲;辛哲宏;王裕霖;叶佳俊 |
分类号 | H01L29/786 | 主分类号 | H01L29/786 |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 | |
主权项 | 一种半导体元件,配置于一基板上,该半导体元件包括:一基材,具有一表面以及一位在该表面的第一凹槽;一金属层,配置于该基材上,且覆盖该表面及该第一凹槽的内壁,而定义出一对应该第一凹槽的第二凹槽;一绝缘层,配置于该金属层上,且覆盖该金属层与该第二凹槽的内壁,而定义出一对应该第二凹槽的第三凹槽;一半导体层,配置于该绝缘层上,且暴露出部分该绝缘层,该半导体层覆盖该第三凹槽的内壁,而定义出一对应该第三凹槽的第四凹槽;一汲极,配置于该半导体层上,且覆盖部分该半导体层与部分该绝缘层,其中该汲极暴露出该第四凹槽;以及一源极,配置于该半导体层上,且覆盖部分该半导体层与部分该绝缘层,其中该源极暴露出该第四凹槽。 | ||
地址 | 新竹市科学工业园区力行一路3号 |