一种蚀刻制程中保护膜组成物之使用方法

主权项

一种蚀刻制程中保护膜组成物之使用方法，系包括：于待进行蚀刻制程之物件表面以印刷方式分散保护膜组成物，其中，该保护膜组成物系包括紫外光固化树酯，系包含感光性寡聚物及反应性单体；氟化树脂，其中，相对于该紫外光固化树酯100重量份，该氟化树脂之含量为5至200重量份；以及光起始剂，其中，相对于该紫外光固化树酯100重量份，该光起始剂之含量系为0.1至20重量份；固化该保护膜组成物，以形成保护膜；以及使该物件进行该蚀刻制程。