叠合方法与叠合用载具

主权项

一种叠合方法，应用于形状相同之一晶圆与一载具之间，该方法包含下列步骤：于该载具之表面上涂布一黏着层，该黏着层直接接触该载具；除去该载具边缘表面上部份之该黏着层，而在该载具边缘处之该黏着层中定义出至少一个黏着层凹陷；以及利用已定义出黏着层凹陷之该黏着层将该晶圆与该载具进行叠合。