发明名称 |
产生用来执行基于图案剪辑之自动布局验证的基于图案剪辑之热点资料库之方法及系统以及非暂时性电脑可读取的储存媒体 |
摘要 |
|
申请公布号 |
TWI493369 |
申请公布日期 |
2015.07.21 |
申请号 |
TW098107704 |
申请日期 |
2009.03.10 |
申请人 |
希诺皮斯股份有限公司 |
发明人 |
唐宗武;张 丹尼尔;米罗斯雷夫斯基 艾力克斯;辛哈 沙巴纳瑞克哈;许静宇;匡奕正;毕攸迪特 凯文 |
分类号 |
G06F17/50 |
主分类号 |
G06F17/50 |
代理机构 |
|
代理人 |
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 |
主权项 |
一种产生用来执行基于图案剪辑之自动布局验证的基于图案剪辑之热点资料库之方法,该方法包含下列步骤:接收用来指定布局中要避免的制造热点之一图案剪辑清单,其中每一图案剪辑包含相互邻近的一组几何形状;将该图案剪辑清单合并成一组精简的图案剪辑,其包含:藉由只保持该图案剪辑清单中之第一图案剪辑及第二图案剪辑之间的共同特征,而将该图案剪辑清单中之该第一图案剪辑及该第二图案剪辑合并成第三图案剪辑;针对该组精简的图案剪辑中的每一图案剪辑而扰动该图案剪辑,以便决定该组几何形状的第一变化范围,其中该被扰动之图案剪辑不再造成一制造热点;使用电脑自该第一变化范围萃取一组修正指导描述,以便修正该图案剪辑;以及将该图案剪辑及该组修正指导描述储存在该基于图案剪辑之热点资料库中。
|
地址 |
美国 |