| 主权项 |
一种敏辐射线性树脂组成物，其中为包含(A)可藉由酸变成硷可溶性之含有酸解离性基之树脂；(B)敏辐射线性酸产生剂；及(C)溶剂，其特征为上述(A)含有酸解离性基之树脂包含以下列通式(1)表示之重复单位、以下列通式(2)表示之重复单位及具有内酯骨架之重复单位，且以该树脂中所含全部重复单位之总量为100莫耳%时，以下列通式(1)表示之重复单位之含有率为5~20莫耳%，以下列通式(2)表示之重复单位之含有率为5~50莫耳%，上述具有内酯骨架之重复单位之含有率为41.9莫耳%以下，上述(A)含有酸解离性基之树脂系包含源自以下列通式(M-2-1)表示之化合物之重复单位及源自以下列通式(M-2-2)表示之化合物之重复单位中之至少一者来作为以下列通式(2)表示之重复单位，上述具有内酯骨架之重复单位系源自以下列通式(M-3)表示之化合物；
(通式(1)中，R1表示氢原子或未取代之甲基，X表示羟基，m为1~18之整数)；[通式(2)中，R2表示氢原子或未取代之甲基，R3表示碳数1~4之可具有取代基之烷基，n为4~8之整数]；[通式(M-2-1)及(M-2-2)中，R2表示氢原子或未取代之甲基]； |
