| 发明名称 | 气体扩散室 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI493070 | 申请公布日期 | 2015.07.21 |
| 申请号 | TW101146066 | 申请日期 | 2012.12.07 |
| 申请人 | 财团法人金属工业研究发展中心 | 发明人 | 吴奕达;陈威宇;吴春森;吴以德 |
| 分类号 | C23C16/00 | 主分类号 | C23C16/00 |
| 代理机构 | 代理人 | 陈瑞田 高雄市凤山区建国路3段256之1号 | |
| 主权项 | 一种用以将一薄膜沉积在一基板上之气体扩散室，包括：一腔体；一基板区，位在该腔体内部，用以承载该基板；至少二个进气端，相对设置在该腔体的两侧，用以向该基板区区域提供气体；以及至少二个抽气端，相对设置在该腔体的另两侧，用以从该基板区区域抽出气体，且该些抽气端抽出气体的方向与该腔体内部之一底面平行；其中，抽出气体方向与提供气体方向互相垂直。 | ||
| 地址 | 高雄市楠梓区高楠公路1001号 | ||