| 主权项 |
一种用以洗净基板之基板洗净方法，系包括：藉由基板支持装置来支持该基板；藉由该基板支持装置来使该基板在一方向旋转；使跨越着该基板之直径的几乎全长直线状延伸的辊洗净部件在一方向旋转，且使前述辊洗净部件与该基板之表面沿着洗净区域彼此接触，来洗涤洗净该基板之该表面；及当该辊洗净部件正在洗涤洗净该基板之该表面时，将洗净液以洗净液供给角度的预设角度θ从洗净液供给喷嘴供给至该基板之该表面之第一洗净区域；其中，该第一洗净区域系前述洗净区域之一部分，该基板之该表面与该辊洗净部件沿着该洗净区域彼此接触；该基板之旋转速度之方向与该辊洗净部件之旋转速度之方向相反；及该预设角度θ系一角度，位于该辊洗净部件之旋转轴与该洗净液之供给方向之间，且位于该辊洗净部件之该旋转轴与该洗净液之投影至该基板之该表面的供给方向之间，该角度θ定义为从该辊洗净部件之该旋转轴往顺时针方向来看的角度。
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