发明名称 | 超音波洗净装置、超音波洗净方法及记录用以实行该超音波洗净方法之电脑程式的记录媒体 | ||
摘要 | |||
申请公布号 | TWI492794 | 申请公布日期 | 2015.07.21 |
申请号 | TW099130189 | 申请日期 | 2010.09.07 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 佐藤秀明;江嶋和善;原大海;星野浩澄 |
分类号 | B08B3/12;H01L21/304 | 主分类号 | B08B3/12 |
代理机构 | 代理人 | 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 | |
主权项 | 一种超音波洗净装置,其特征为,具备有:复数之洗净槽,系储存洗净液;和被处理体保持装置,系被设置为可插入至各洗净槽内,并将被处理体作保持而浸渍在洗净液中;和振动子,系被设置在各洗净槽中;和单一之超音波振荡器,系在各振动子处而使超音波产生;和输出切换器,系介于此超音波振荡器与各洗净槽之振动子之间,并对于被与该超音波振荡器作连接之振动子作切换;和控制器,系对于超音波振荡器以及输出切换器作控制,控制器系藉由切换被连接于超音波振荡器之振动子,以使在1个的洗净槽之振动子处而使超音波振动产生之时序不会与在其他的洗净槽之振动子处而使超音波振动产生的时序相重叠的方式,来对于超音波振荡器以及输出切换器作控制。 | ||
地址 | 日本 |