用于清洁载体上基板之方法及装置

主权项

一种用于清洁一载体上基板之方法，该等基板系藉由黏合剂黏合透过外部面紧固至一扁平细长载体之底侧，以便彼此平行且稍微分离，该载体在其内部具有复数个纵向通道，该复数个纵向通道彼此平行延伸且其等在该载体之该底侧上并入至该等基板之间的空隙中，一细长管系透过一介于该载体与该细长管间之相对移动引入至该等纵向通道中之至少一者中，包含清洁流体之流体系自该管放出，该相对移动系大致透过该载体之移动达成。