调整导线蚀刻机内的静电吸盘电压以释放累积电荷

主权项

一种在一晶圆上形成一积体电路结构的方法，至少包含：提供一第一蚀刻机，至少包含一第一静电吸盘；放置该晶圆在该第一静电吸盘上；形成一导线开口在该晶圆上，系使用该第一蚀刻机；在形成该导线开口后，引一第一反向松弛电压到该第一静电吸盘以释放该晶圆；放置该晶圆在一第二蚀刻机的一第二静电吸盘上；使用该第二蚀刻机执行一蚀刻步骤，以在该晶圆上形成另一个开口；以及在形成该另一个开口后，引一第二反向松弛电压到该第二静电吸盘上以释放该晶圆，其中该第二反向松弛电压低于该第一反向松弛电压。