发明名称 滤光器及其制造方法与分析机器及光机器
摘要
申请公布号 TWI493222 申请公布日期 2015.07.21
申请号 TW100108367 申请日期 2011.03.11
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 山崎成二
分类号 G02B26/00;G02B5/20;C09J5/00 主分类号 G02B26/00
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种滤光器之制造方法,其特征在于:其包括如下步骤:于形成有可反射光并使特定波长之光穿透之第1反射膜之第1基板,形成第1接合膜;于形成有可反射光并使特定波长之光穿透之第2反射膜之第2基板,形成第2接合膜;覆盖上述第1基板之上述第1反射膜之表面,形成保护上述第1反射膜之第1障壁膜;覆盖上述第2基板之上述第2反射膜之表面,形成保护上述第2反射膜之第2障壁膜;藉由臭氧或紫外线,分别赋予上述第1、第2接合膜活化能;及接合经活化之上述第1、第2接合膜,使上述第1、第2基板贴合;且上述第1障壁膜系形成于赋予上述第1接合膜活化能之前;上述第2障壁膜系形成于赋予上述第2接合膜活化能之前。
地址 日本