| 摘要 |
<p>본 발명은 고정베이스와 고정링을 포함하는 화학기계 연마고정구에 관한 것이다. 그 중에 고정베이스는 제1결합면과 상기 제1결합면에 환상으로 배열 설치되는 PPS재질로 제조된 복수의 볼록부를 포함하며, 각 볼록부는, 고정베이스의 경방향을 따라 연장하는 평면이고 근부부터 볼록부의 외측으로 기울이는 제1감합면을 포함한다. 고정링은 제2결합면과 상기 제2결합면에 환상으로 배열 설치되고 볼록부와 대응하는 복수의 제1오목부를 포함하며, 각 제1오목부는, 고정링의 경방향을 따라 연장하는 평면이고 근부부터 제2결합면으로 기울어져 도구구조를 형성하는 제2감합면을 포함한다. 그 중에 고정베이스와 고정링의 축방향이 일치하여 제1결합면과 제2결합면을 일치하게 되고 볼록부는 각각 제1오목부와 일치하며 고정베이스와 고정링은 각각 원주방향을 따라 역방향 회전하여 볼록부의 제1감합면과 제1오목부의 제2감합면이 감합되도록 한다.</p> |
