| 摘要 |
<p>본 발명은, 펠리클 프레임를 변형시키는 일이 없는 펠리클 핸들링 지그를 제공하는 것을 과제로 한다. 반도체 장치를 제조할 때에 이용하는 리소그래피에서 사용되는 펠리클을 취급하기 위한 펠리클 핸들링 지그는, 손잡이와, 이 손잡이의 선단과 T자형으로 접속되는 주축과, 이 주축과 U자형을 형성하도록 상기 주축의 양단으로부터 상기 주축과 직교하도록 전방으로 돌출한 2개의 아암과, 상기 아암의 내측 측면에 각각 2개씩 설치된 펠리클 프레임 유지부를 구비한다. 상기 아암은 아암 간격을 조정할 수 있도록 좌우로 개폐 조작 가능하게 구성되며, 상기 펠리클 프레임 유지부는, 상기 아암이 폐쇄된 때에, 펠리클 프레임의 4개의 코너에서 프레임 측면을 잡도록 설치되어 있다.</p> |
