| 摘要 |
<p>본 발명의 액정표시장치의 제조방법은 비-포토리소그래피(non photolithography)방식인 인-플레인 프린팅(In-Plane Printing)방식을 이용하여 액티브패턴과 소오스/드레인전극 및 데이터패드라인을 형성하는 동시에 게이트패드부를 오픈하고, 리프트 오프(lift off)공정을 이용하여 화소전극과 패드부전극을 동시에 형성함으로써 최소한의 포토리소그래피(photolithography)공정을 이용하여 박막 트랜지스터 어레이 기판을 제작하기 위한 것으로, 제 1 기판 위에 게이트전극과 게이트라인 및 게이트패드라인을 형성하는 단계; 상기 게이트전극과 게이트라인 및 게이트패드라인이 형성된 제 1 기판 위에 게이트절연막을 형성하는 단계; 비-포토리소그래피공정을 이용하여 상기 게이트절연막 위에 액티브패턴, 소오스/드레인전극, 데이터라인 및 데이터패드라인을 형성하며, 상기 게이트절연막의 일부영역을 제거하여 상기 게이트패드라인의 일부를 노출시키는 콘택홀을 형성하는 단계; 상기 액티브패턴, 소오스/드레인전극, 데이터라인 및 데이터패드라인이 형성된 제 1 기판 전면에 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막이 형성된 제 1 기판 전면에 감광성물질로 이루어진 감광막을 형성한 후, 선택적으로 패터닝하여 화소전극 영역과 게이트패드전극 영역 및 데이터패드전극 영역이 노출되도록 감광막패턴을 형성하는 단계; 상기 감광막패턴을 마스크로 하여, 상기 화소전극 영역과 게이트패드전극 영역 및 데이터패드전극 영역의 절연막을 제거하여 보호막을 형성하는 단계; 상기 보호막이 형성된 제 1 기판 전면에 투명한 도전막을 형성하는 단계; 리프트 오프공정을 통해 상기 화소전극 영역과 게이트패드전극 영역 및 데이터패드전극 영역 이외 부분에 남아있는 상기 투명한 도전막을 상기 감광막패턴과 함께 제거하여, 상기 드레인전극 및 데이터패드라인과 직접 전기적으로 접속하는 화소전극 및 데이터패드전극을 형성하며, 상기 콘택홀을 통해 상기 게이트패드라인과 전기적으로 접속하는 게이트패드전극을 형성하는 단계; 및 상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함한다.</p> |
