发明名称 УСТРОЙСТВО МОЛЕКУЛЯРНОГО НАСЛАИВАНИЯ ТИТАНОКСИДНЫХ НАНОПОКРЫТИЙ НА ПОВЕРХНОСТЬ ОПТИЧЕСКИХ КВАРЦЕВЫХ ВОЛОКОН
摘要 Устройство для молекулярного наслаивания титаноксидных нанопокрытий на поверхность оптических кварцевых волокон, состоящее из вакуумного реактора, подключенного к блоку питания и контроля температуры, термопарного манометра и ампул с реагентами TiClи HO, связанными через вакуумные вентили с термопарным манометром, который подключен к вакуумному реактору, форвакуумного насоса, связанного с азотной ловушкой, которая через дополнительный вакуумный вентиль подключена к вакуумному реактору.
申请公布号 RU153476(U1) 申请公布日期 2015.07.20
申请号 RU20140128956U 申请日期 2014.07.15
申请人 发明人
分类号 C23C22/27 主分类号 C23C22/27
代理机构 代理人
主权项
地址