| 摘要 |
<p>식각장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 식각장치는, 기판에 대한 식각공정이 진행되는 진공챔버; 상기 기판의 외곽부에 증착된 유기물을 식각하기 위해 레이저(Laser)를 조사하는 레이저 조사기; 및 진공챔버의 진공압 유지를 위한 진공펌프와 연결되고 진공펌프의 연결라인과 연통되게 진공펌프와 연결라인 사이에 마련되며, 레이저에 의한 식각공정 시 기판에서 분리되는 파티클(Particle)을 포집하는 파티클 포집유닛을 구비하는 버퍼챔버를 포함한다.</p> |
