Mikroskopieanordnung mit Autofokus und astigmatisch geformtem Analyselichtstrahl

摘要

Mikroskopieanordnung zur Abbildung eines Objekts, umfassend:–eine eine Objektivanordnung (3) mit einer optischen Achse (7) aufweisende Mikroskopieoptik mit einer Objektebene (13), deren Arbeitsabstand (A) von der Objektivanordnung (3) einstellbar ist, und–eine erste Projektionsanordnung, um wenigstens einen geformten Analyse-Lichtstrahl (33, 34) durch die Objektivanordnung (3) auf das Objekt zu projizieren und auf diesem wenigstens einen Lichtfleck (39) zu erzeugen, wobei der wenigstens eine Analyse-Lichtstrahl (33, 34) derart geformt ist, daß eine Gestalt eines Querschnitts des wenigstens einen Analyse-Lichtstrahls (33, 34) sich in Strahlrichtung ändert, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikroskopieanordnung ferner umfasst:–einen ortsauflösenden Strahlungsdetektor (51) zur Ausgabe von eine Ortsabhängigkeit einer Intensität detektierter Strahlung repräsentierenden Daten,–eine Abbildungsoptik zur Abbildung des auf dem Objekt erzeugten wenigstens einen Lichtflecks (39) auf den ortsauflösenden Strahlungsdetektor (51), und–eine Schaltung (61) zur Auswertung der Daten und Ausgabe eines Fokussierungssignals auf der Grundlage einer Gestalt des auf den Strahlungsdetektor (51) abgebildeten wenigstens einen Lichtflecks (39) derart, daß das Fokussierungssignal einen Abstand zwischen dem Objekt und der Objektebene repräsentiert, und wobei der wenigstens eine geformte Analyse-Lichtstrahl wenigstens ein astigmatisch geformter Analyse-Lichtstrahl (33c) ist, der in zwei zueinander und zur Richtung des wenigstens einen Analyse-Lichtstrahls orthogonalen Richtungen unterschiedlich konvergent ist.