| 摘要 |
기판(928)을 핸들링하기 위한 기판 핸들링 장치(902)가 개시된다. 기판 핸들링 장치는 노광 영역(904)을 향해 기판을 공급하기 위한 기판 공급 장치(934), 노광 영역으로부터 기판을 수용하기 위한 기판 수용 장치(938), 및 적어도 노광 영역에서는 기판을 노광 높이 및/또는 경사에서 실질적으로 편평하게 유지시키기 위한 기판 안정화 장치(946) - 상기 기판 안정화 장치는 유연한 기판을 무접촉으로 안정화시키도록 구성됨 - 를 포함한다. |
