藉由冷却剂流量控制及加热器任务周期控制之组件温度控制;COMPONENT TEMPERATURE CONTROL BY COOLANT FLOW CONTROL AND HEATER DUTY CYCLE CONTROL

摘要

兹描述在电浆处理腔室中控制温度的方法和系统，以供大范围设定温度及减少能量消耗之用。冷却液回路与热源间的温度控制由控制演算法协调，该控制演算法由电浆处理模组控制器施行。该控制演算法可响应指示实际温度低于设定温度的反馈讯号，而完全停止冷却液流入温度控制之组件。该控制演算法更可于制程配方执行期间，至少部分依据前馈控制讯号，该前馈控制讯号系源自输入该处理腔室的电浆功率或电浆功率变化。