真空组件与在离子植入机系统中维持真空的方法;VACUUM ASSEMBLY AND METHOD OF MAINTAINING VACUUM IN ION IMPLANTER SYSTEM

摘要

在一个实施例中，一种用于离子植入机系统的真空组件包含：第一涡轮分子泵，操作性地耦接到所述离子植入机系统的源室；以及第一支持管线，具有第一端和第二端，第一端耦接到第一涡轮分子泵的排气口，其中第一涡轮分子泵以及第一支持管线的第一端经配置以在源室的电压电位下操作。真空组件还包含：电压绝缘体，绝缘地耦接到第一支持管线；以及第二涡轮分子泵，操作性地耦接到第一支持管线，其中第二涡轮分子泵经配置以在接地电压电位下操作。