量测最佳化检验;METROLOGY OPTIMIZED INSPECTION

摘要

本发明提供判定一晶圆检验程序之一或多个参数之方法及系统。一种方法包含：获取由一晶圆量测系统产生之关于一晶圆之量测资料。该方法亦包含：基于该量测资料来判定用于该晶圆或另一晶圆之一晶圆检验程序之一或多个参数。