用于电感耦合型等离子处理器射频视窗的加热装置

摘要

本发明公开了一种用于电感耦合型等离子处理器射频视窗的加热装置，该装置加热射频视窗，该加热装置包含：至少一个加热器，其贴合设置在射频视窗上，加热器包含电阻丝、包裹在电阻丝上的绝缘薄膜，且加热器厚度小于1mm，绝缘薄膜采用聚醯亚胺，该装置使得射频视窗受热均匀，可以避免射频视窗由于等离子体引起的温度波动及不稳定现象。