| 摘要 |
【課題】 物体及び参照ビーム経路内に存在する変位及び振動エラーを解消する方法を含む小型自蔵式ホログラフィ及び干渉計デバイス並びに方法が開示される。【解決手段】自蔵式装置（６００）は光を散乱させる被照明物体（３０２）と、物体ビーム（３５０）を形成する対物レンズ（３０４）とを含む。自蔵式装置はまた、対物レンズ（３０４）の瞳面（３０６）を通過する物体ビームの一部から参照ビーム（３５２）を形成する参照ビーム形成レンズ群（３０８）を含む。物体ビーム及び参照ビームは共用光路に沿って伝搬し、その結果、相対的変位及び振動エラーが解消される。自蔵式装置は、物体ビーム及び参照ビームが再結合して検出及び分析対象の干渉パターンを形成する画像面（３１６）を含む。自蔵式装置を用いて不安定性を解消する方法も開示される。【選択図】 図６ |
