Lochblende mit optimiertem thermischem Emissionsverhalten

摘要

Es wird eine Anordnung zur CSS-Beschichtung von Substraten vorgestellt, bei der zwischen einem beheizten Tiegel mit einem sublimierenden Stoff und dem zu beschichtende Substrat eine Lochblende angeordnet ist, wobei die Lochblende auf der, dem Tiegel- und/oder dem Substrat zugewandten Seite eine Oberflächenstruktur und/oder Beschichtung und/oder Abdeckung aufweist, welche die thermische Emission in Richtung des Tiegels erhöht und/oder in Richtung des Substrates reduziert.