用于在真空反应器装置中监测硒蒸气之系统与方法;SYSTEM AND METHOD FOR MONITORING SE VAPOR IN VACUUM REACTOR APPARATUS

摘要

本发明揭示用于监测一真空反应器装置中之蒸气的方法及系统。一种系统具有：(a)一真空腔室；(b)一蒸气源，其收容于该真空腔室中，其中该蒸气源经组态以产生一蒸气；(c)一反应容器，其收容于该真空腔室中且耦接至该蒸气源，其中该反应容器具有至该真空腔室之一出口，且其中该反应容器经组态以自该蒸气源接收该蒸气，且经由该出口将该所接收蒸气之一部分排出至该真空腔室中；及(d)一或多个感测器，其收容于该真空腔室中，其中该一或多个感测器经组态以侦测经由该出口排出之该蒸气。