电极形成装置，电极形成系统及电极形成方法

摘要

本发明系一种电极形成装置，电极形成系统及电极形成方法，其课题为提供使形成电极于基板之处理的产率提升之电极形成装置，电极形成系统及电极形成方法。;解决手段为电极形成装置(1)系具备：从上方按压基板(B)之按压板(13)，和吸附基板(B)于印刷平台(11)之吸附装置(14)，和加以一体形成为了涂布助熔剂于基板(B)之第1光罩部，与于涂布有助熔剂之基板(B)，为了充填导电性球之第2光罩部之光罩构件(15)，和藉由第1光罩部而涂布助熔剂之刮浆板头(16)，和为了使光罩构件移动之空气压缸(18)，和藉由第2光罩部，充填导电性球之充填头(17)。